UV光氧催化廢氣凈化設備利用光束照射臭氣體，使或無機分子臭化合物分子鏈，在紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。利用臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，眾所周知臭氧對物具有強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有的效果。惡臭氣體利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用C波光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。利用UV光束裂解臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，達到脫臭及殺滅的目的。

UV光氧催化設備的原理是利用的臭氧UV紫外線光束對廢氣進行照射與裂解，其主要的工作原理是使或無機分子的廢氣化合物分子鏈，通過進行紫外線的照射，進而進行降解轉變為低分子的化合物。